本發(fā)明提供一種濺射靶材用硅硼母合金及其制備方法,硅硼母合金為采用高純硅粉和高純硼粉為原料,依次經(jīng)高能球磨、造粒后采用
粉末冶金壓制成形技術(shù)和真空燒結(jié)制備的所得產(chǎn)物。本發(fā)明制備的硅硼母合金中具有含硼量高、顆粒分布均勻、雜質(zhì)含量低、粉末活性高、易于摻雜等特點(diǎn),并且,摻雜該種硅硼母合金制備的
多晶硅靶材,較制備的硅靶材具有產(chǎn)品出成率高,電阻率分布均勻等特點(diǎn)。
聲明:
“濺射靶材用硅硼母合金及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)