本發(fā)明涉及一種方法、一種涂覆裝置和一種處理設(shè)備。根據(jù)實(shí)施方案的不同形式,方法(100)可包括以下步驟:在涂覆區(qū)域(803)和收集區(qū)域(805)中產(chǎn)生真空;以第一主傳播方向(102e)發(fā)射固體顆粒穿過涂覆區(qū)域(803)進(jìn)入收集區(qū)域(805);以第二主傳播方向(104e)蒸發(fā)涂覆材料進(jìn)入涂覆區(qū)域(803),其中第一主傳播方向(102e)和第二主傳播方向(104e)相互成一角度延伸,使得涂覆材料蒸發(fā)繞過收集區(qū)域(805)。
聲明:
“方法、涂覆裝置和處理設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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