本發(fā)明揭示了一種全干法
功能材料剝離的方法。本發(fā)明通過(guò)對(duì)襯底進(jìn)行修飾以降低光刻膠與襯底的粘附力,然后在光刻膠上曝光出所需的結(jié)構(gòu),再對(duì)圖案化光刻膠之后的樣品鍍上功能材料,利用黏貼層選擇性的把光刻膠及其上面的功能材料撕走,從而留下圖案化之后的功能材料反結(jié)構(gòu),即代替了現(xiàn)有的濕法剝離方案,實(shí)現(xiàn)了高精度綠色的干法剝離。
聲明:
“全干法功能材料剝離的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)