本實(shí)用新型公開了一種帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅(qū)動(dòng)兩用器件。該柔性壓電傳感/驅(qū)動(dòng)兩用器件包括帶有中間電極的柔性壓電
功能材料層、側(cè)向引出電極和柔性絕緣封裝層;其器件結(jié)構(gòu)由上至下具體布局為:上柔性絕緣封裝層、柔性壓電功能材料層、左右側(cè)向引出電極、下柔性絕緣封裝層。該柔性壓電功能材料由沿縱、橫陣列布置的微米壓電陶瓷柱、柔性中間電極以及聚合物粘接劑組成。本實(shí)用新型的帶有中間電極的柔性壓電功能材料,垂直中間電極方向?qū)弘娞沾芍M(jìn)行極化,在傳感與驅(qū)動(dòng)時(shí)有效采用壓電陶瓷柱d
33壓電常數(shù),極大地增強(qiáng)了壓電功能材料的傳感/驅(qū)動(dòng)敏感度,器件整體結(jié)構(gòu)緊湊、柔韌性好、性能穩(wěn)定。既能很好地與曲面結(jié)構(gòu)耦合作為應(yīng)力/應(yīng)變傳感器,亦可輸入激勵(lì)信號(hào)進(jìn)行主動(dòng)振動(dòng)抑制驅(qū)動(dòng)器。
聲明:
“帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅(qū)動(dòng)兩用器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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