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片狀液相納米顆粒制備方法

676   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
一種片狀液相納米顆粒制備方法，包括如下步驟：(1)在平整襯底上沉積可溶解的犧牲層薄膜材料；(2)再在犧牲層上沉積功能材料；(3)在功能材料層上沉積并制備聚合物材料的納米圖案；(4)以聚合物材料的納米圖案作為刻蝕掩模，利用刻蝕技術將納米圖案轉(zhuǎn)移到下層的功能材料層上，再用刻蝕技術除去多余的聚合物材料；(5)利用合適的液體將犧牲層溶解，同時得到液相的片狀功能材料納米顆粒，顆粒形狀與納米圖案一致。本發(fā)明方法可應用于制備任意圖案的片狀液相納米顆粒，納米顆?？梢允菃螌踊蚨鄬硬煌牧辖M合而成；該方法制備工藝簡單，可以高效率，低成本地制備最小尺寸為5納米，最小厚度為0.1納米且尺寸均一的液相片狀納米顆粒，能夠很好的滿足實際需求。
聲明：
“片狀液相納米顆粒制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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