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利用飛秒激光雙光子制備導(dǎo)電材料的方法

1060   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
一種利用飛秒激光雙光子制備導(dǎo)電材料的方法,涉及導(dǎo)電材料加工技術(shù)領(lǐng)域。其包括:a)步,使用的光源為藍(lán)光飛秒激光,產(chǎn)生的方法為:將波長(zhǎng)在750~850nm、脈沖寬度在60~100fs的飛秒激光,經(jīng)倍頻后形成藍(lán)光375~425nm的飛秒光;或使用其它直接產(chǎn)生藍(lán)光的飛秒激光作為加工的光源。b)步,把藍(lán)光375~425nm的飛秒光經(jīng)透鏡聚焦到所要加工的非導(dǎo)電材料上;c)步,通過(guò)計(jì)算機(jī)控制樣品位置或激光焦點(diǎn)照射在非導(dǎo)電材料內(nèi)的位置,使激光與材料發(fā)生相互作用,發(fā)生雙光子吸收,在曝光的位置形成導(dǎo)電的功能材料。本發(fā)明較之現(xiàn)有MEMS微型電子器件的加工方法,具有真三維、高分辨、導(dǎo)電性、一次性加工等特點(diǎn)。
聲明:
“利用飛秒激光雙光子制備導(dǎo)電材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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