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納米晶BST薄膜的制備方法

993   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:03:02
一種納米晶鈦酸鍶鋇薄膜的制備方法,屬于功能材料技術(shù)領(lǐng)域,涉及納米晶BST薄膜的制備方法。本發(fā)明對(duì)常規(guī)溶膠-凝膠方法制備BST薄膜過(guò)程的“冷卻”和“晶化”步驟之間添加“預(yù)晶化”處理步驟。本發(fā)明可在大氣環(huán)境下類(lèi)外延生長(zhǎng)納米晶BST薄膜,所得薄膜光滑致密、無(wú)裂紋、無(wú)縮孔。本發(fā)明可大幅度提高納米晶BST薄膜的綜合介電調(diào)諧性能,所得納米晶BST薄膜電容58~1840pF、介電調(diào)諧率大于20.0%、介電損耗小于3.0%、K因子大于15.0、介電強(qiáng)度高,頻率特性和溫度特性穩(wěn)定。采用本發(fā)明所制備的納米晶BST薄膜可以替代鐵氧體和半導(dǎo)體用于制備微波調(diào)諧器件(如移相器),從而顯著降低微波調(diào)諧器件的制造成本;另外,本發(fā)明所制備的納米晶BST薄膜還可用于磁記錄、熱釋電焦平面陣列等。
聲明:
“納米晶BST薄膜的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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