本發(fā)明屬于
功能材料合成領(lǐng)域,具體涉及一種基于氧化釩(VO2)薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法,克服了VO2納米線(xiàn)傳感器測(cè)量誤差大、制備工藝復(fù)雜以及應(yīng)用難度大的缺陷。本發(fā)明基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器,包括聚酰亞胺薄膜、設(shè)置于聚酰亞胺薄膜上的平行金電極、覆蓋于平行金電極上的VO2薄膜、以及覆蓋于VO2薄膜上的聚二甲基硅氧烷;該呼吸傳感器基于VO2薄膜實(shí)現(xiàn),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備工藝簡(jiǎn)單、制備成本低,對(duì)呼吸頻率、呼吸深度具有良好的監(jiān)測(cè),測(cè)量誤差小;同時(shí),本發(fā)明還提供該呼吸傳感器的制備方法,該制備方法工藝簡(jiǎn)單、成本低廉,具有良好的工藝可控性和重復(fù)性,有利于大規(guī)模批量化生產(chǎn)。
聲明:
“基于VO2薄膜的柔性呼吸傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)