本發(fā)明公開一種高頻段聲表面波器件電極的制備方法,步驟包括:S1.在壓電
功能材料的襯底基片上使用負(fù)膠對待制備電極中叉指電極的輪廓進(jìn)行曝光;S2.曝光顯影后金屬沉積,得到帶有叉指電極輪廓圖形的金屬涂層;S3.將輪廓圖形外的冗余金屬層進(jìn)行機(jī)械剝離,得到最終的對應(yīng)叉指電極的密集圖形;S4.使用正膠對待制備電極中匯流條和焊盤進(jìn)行曝光、金屬沉積;S5.對沉積后金屬層使用溶脫工藝剝離冗余金屬層,得到對應(yīng)匯流條和焊盤的電極圖形,完成電極的制備。本發(fā)明能夠制備得到兼具高分辨密集圖形和大尺寸圖形的納米SAW器件電極,且具有實現(xiàn)操作簡單、成本低、制備效率及良率高、SAW電極質(zhì)量高及通用性好等優(yōu)點。
聲明:
“高頻段聲表面波器件電極的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)