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多復合場下的柔性電子功能層制備裝置及制備方法

905   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:04:02
本發(fā)明涉及柔性電子功能層制備技術領域,尤其涉及一種多復合場下的柔性電子功能層制備裝置,包括底板、第一旋轉(zhuǎn)單元、第二旋轉(zhuǎn)單元、磁場產(chǎn)生單元、電場產(chǎn)生單元、熱場產(chǎn)生單元,使得功能材料同時處于磁場、電場和熱場的復合外場下,可以在復合場下實現(xiàn)柔性電子功能層的精確制備。本發(fā)明還涉及一種多復合場下的柔性電子功能層制備方法,可以通過對復合力場的全局調(diào)控和電場、磁場的局部調(diào)控來實現(xiàn)功能薄膜制備過程中的動態(tài)調(diào)控,進而實現(xiàn)了柔性電子功能層的規(guī)?;⒁恢禄苽?。
聲明:
“多復合場下的柔性電子功能層制備裝置及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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