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氧化物薄膜高溫生長用有機金屬化學氣相沉積設備

1064   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:04:03
氧化物薄膜高溫生長用有機金屬化學氣相沉積設備，屬于氧化物薄膜材料制備技術領域，具體涉及一種在超高溫（大于1100°C）和氧氣氣氛條件下氧化物半導體及其它氧化物薄膜功能材料生長的金屬有機物化學氣相沉積設備。其反應室由其由真空加熱腔、內旋轉系統(tǒng)、外旋轉系統(tǒng)、帶有水冷的U型法蘭固定裝置（1）、帶水冷的火炬型中空軸（2）、帶水冷的反應室側壁（5）、噴淋頭（6）和抽真空系統(tǒng)（18）組成；火炬型中空軸（2）分為炬體和炬把兩部分，其炬把穿過U型法蘭底座（1）。旋轉電機通過皮帶傳送帶動外旋轉系統(tǒng)繞U型法蘭底座（1）旋轉，從而帶動不銹鋼旋轉軸（7）及圓柱形石英支撐（10）和圓形石墨罩（12）繞真空加熱腔旋轉。
聲明：
“氧化物薄膜高溫生長用有機金屬化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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