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濺射用輝光放電發(fā)生方法與裝置

859   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-18 15:06:02
本發(fā)明涉及一種濺射用輝光放電發(fā)生方法與裝置，屬于光電功能材料制造方法及裝置領域?；趥鹘y設備使用方法，在工作氣體氣路安裝輔助氣路，閥門控制輔助氣路的流量，實現生長室內氬氣壓強的快速轉變，簡化并加快輝光放電發(fā)生過程，達到節(jié)省氣源（氬氣）、提高效率、提高實驗操作精度等目的。有益效果是對于工作氣體用量快速方便的控制可以有效地減少原材料的消耗，降低制造成本；輔助氣路操作簡單、便于控制，簡化了輝光放電發(fā)生過程的操作工藝。
聲明：
“濺射用輝光放電發(fā)生方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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