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多用途光電性能聯(lián)合原位測試池及其應(yīng)用

1140   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:07:01
本發(fā)明涉及一種多用途光電性能聯(lián)合原位測試池及其應(yīng)用,屬于半導(dǎo)體光電功能材料和器件領(lǐng)域,包括高壓密封系統(tǒng)、樣品加熱/測試臺、寬光譜透光窗口和安全閥;高壓密封系統(tǒng)包括高壓池體、主密封系統(tǒng),高壓池體的下部設(shè)置有寬光譜透光窗口,樣品臺導(dǎo)熱板的表面安裝測試探針,高壓密封系統(tǒng)的主密封系統(tǒng)上還設(shè)置有進(jìn)氣管、熱電偶插管、排氣管和加熱/測試電極。本發(fā)明可以在測試高壓、加熱、特殊氣氛、強(qiáng)激光、強(qiáng)磁場等因素單獨(dú)或兩種以上聯(lián)合作用下,連續(xù)、原位地測定半導(dǎo)體材料和器件的電輸運(yùn)性能。通過這個(gè)過程,一方面實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體材料和器件性能的有效調(diào)控,另一方面可以發(fā)現(xiàn)新的性質(zhì)和現(xiàn)象,為研制具有特殊功能的半導(dǎo)體光電器件奠定基礎(chǔ)。
聲明:
“多用途光電性能聯(lián)合原位測試池及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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