本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積/滲透裝置和制備陶瓷基
復(fù)合材料的方法,屬于
功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明中裝置包括前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和反應(yīng)爐,所述前驅(qū)體輸運系統(tǒng)包括并聯(lián)設(shè)置的氣態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和液態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)。本發(fā)明通過并聯(lián)設(shè)置氣態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng)和液態(tài)前驅(qū)體輸運系統(tǒng),實現(xiàn)氣態(tài)前驅(qū)體和液態(tài)前驅(qū)體的輸運,采用第I氣體計量裝置調(diào)控氣態(tài)前驅(qū)體輸運通道中氣態(tài)前驅(qū)體、載氣和稀釋氣的流量,液態(tài)前驅(qū)體先通過液體計量裝置調(diào)控流量后再加熱汽化通入反應(yīng)爐(采用第II氣體計量裝置調(diào)控液態(tài)前驅(qū)體輸運通道中載氣和稀釋氣的流量),液態(tài)前驅(qū)體可以精確調(diào)控,操作方便,最終可以實現(xiàn)具有不同界面相以及不同基體的陶瓷基復(fù)合材料的高效制備。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積/滲透裝置和制備陶瓷基復(fù)合材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)