本發(fā)明公開了一種負(fù)熱膨脹材料Y2W3O12薄膜的制備方法。屬于無機(jī)非金屬負(fù)熱膨脹
功能材料領(lǐng)域。本發(fā)明的負(fù)熱膨脹Y2W3O12薄膜是采用自制的Y2W3O12陶瓷靶材,利用脈沖激光沉積法制備并在沉積倉內(nèi)于900-1100℃原位退火制備得到,該Y2W3O12薄膜響應(yīng)溫度范圍寬,負(fù)熱膨脹性能穩(wěn)定,且制備溫度低、無需淬火、熱處理工藝簡單。脈沖激光沉積法使沉積的Y2W3O12薄膜和靶材的化學(xué)成分保持良好的一致性,同時逸出粒子具有較大的能量有利于薄膜生長,原位退火后制備薄膜質(zhì)量高,制備過程具有良好的可重復(fù)性、制備周期短、成本低,具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“負(fù)熱膨脹材料Y2W3O12薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)