一種自清潔玻璃的制備方法及制備裝置,屬于納 米
功能材料加工領(lǐng)域,其方法為:將 TiCl4汽化后通入玻璃退火窯爐 內(nèi)所生產(chǎn)玻璃的上方,經(jīng)熱分解在玻璃的上方沉積 TiO2薄膜,用 TiCl4和 O2作為氣體先驅(qū)體,將含N的氣 體加入,經(jīng)熱分解在玻璃上沉積 TiO2薄膜。其裝置中液態(tài)的 TiCl4 (8)放置在有夾層的密閉容 器(9)中,用于通入O2的管道(3) 通過三通閥(7)一端與噴頭(12)聯(lián)通,用于通入 N2載氣的管道(4)的另一端通入 放置密閉容器(9)中液態(tài)的TiCl4 (8)中,用于通入N2的管道(1)與 用于通入O2的管道(3)的上端并 聯(lián)在一起,通過三通閥(7)一端與噴頭(12)聯(lián)通,另一端通入密 閉容器(9)中。
聲明:
“自清潔玻璃的制備方法及制備裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)