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膜形成方法及形成裝置、電子裝置及其制法、電子機(jī)器

691   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:10:02
本發(fā)明提供一種可有效地使用材料,同時(shí)可形成高質(zhì)量的有機(jī)薄膜的膜形成方法、膜形成裝置及使用其制造出的電子裝置、電子機(jī)器。有機(jī)薄膜形成裝置(10)備有:溶液供給部(11)、氣體供給部(12)、軟離子化部(13)、離子分開部(14)、偏轉(zhuǎn)部(15)及成膜部(16)。用軟離子化部(13)將應(yīng)成膜的有機(jī)材料形成微細(xì)的液滴,同時(shí)離子化或使其帶電后,使其液滴汽化并生成氣體狀的擬分子離子。而且,在離子分開部(14)中從擬分子離子中分開有機(jī)材料擬分子離子。另一方面,利用形成有機(jī)薄膜的電子裝置基板上預(yù)先形成的電路,向該電子裝置基板所形成的多個(gè)電極提供所定的附著電壓,以使有機(jī)材料擬分子離子選擇性地附著于所定電極上。
聲明:
“膜形成方法及形成裝置、電子裝置及其制法、電子機(jī)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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