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脈沖激光微沉積圖案形成

653   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:10:02
本申請(qǐng)披露了一種利用脈沖激光在透明基片上形成圖案的方法。不同的實(shí)施例包括超短脈沖激光,對(duì)于激光波長(zhǎng)透明的基片,和靶板。激光束被引導(dǎo)通過(guò)透明基片并聚焦在靶表面上。靶材料被激光燒蝕并且被沉積在相對(duì)的基片表面上。通過(guò)相對(duì)于靶掃描激光束形成圖案,例如灰度圖像。激光束掃描速度和掃描線密度的變化控制了材料沉積并且改變了沉積圖案的光學(xué)特性,產(chǎn)生視覺(jué)效果的灰度。在一些實(shí)施例中,在制備過(guò)程中可在微電子設(shè)備的一部分上形成圖案。在一些實(shí)施例中,高重復(fù)頻率皮秒和納秒源被設(shè)置成產(chǎn)生圖案。
聲明:
“脈沖激光微沉積圖案形成” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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