一種裝置,包括:腔室和可拆卸地連接到該腔室的噴嘴,該噴嘴限定孔口;設(shè)置在腔室內(nèi)的靶轉(zhuǎn)盤;第一激光器,其被配置成生成第一光束,該第一光束被引導(dǎo)朝向靶轉(zhuǎn)盤以執(zhí)行原位燒蝕來形成激光羽流;氣體流系統(tǒng),其被配置成將氣體供應(yīng)到腔室中,使得氣體與激光羽流相互作用并引起納米顆粒的凝結(jié)和形成;以及第二激光器,其被配置成生成第二光束,該第二光束被引導(dǎo)通過腔室的內(nèi)部、通過噴嘴的孔口,并且朝向設(shè)置在裝置外部的基底,該第二激光束被配置成將離開噴嘴的納米顆粒燒結(jié)和結(jié)晶在基底上。
聲明:
“新型增材納米制造系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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