本發(fā)明揭示了一種PMU泵浦結(jié)構(gòu)及其形成方法。該結(jié)構(gòu)包括呈鏡像對稱的第一部分和第二部分,所述第一部分包括:半導(dǎo)體基底;形成于所述半導(dǎo)體基底上的外延層;形成于所述外延層中的第一障礙層;形成于所述外延層上的功能層,所述功能層包括距離第二部分自遠(yuǎn)及近排列的第一P+區(qū)、第一N+區(qū)、第二P+區(qū)及第二N+區(qū);以及位于所述功能層上的金屬互連層,所述金屬互連層使得第一N+區(qū)及第二P+區(qū)等電勢;所述第一障礙層與功能層之間形成有外延層。通過使得第一N+區(qū)及第二P+區(qū)等電勢,避免了第一N+區(qū)和第二P+區(qū)之間產(chǎn)生壓降,防止了外延層、第一障礙層及半導(dǎo)體基底之間漏電流的產(chǎn)生。
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