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三維微結(jié)構(gòu)、具有至少兩個(gè)三維微結(jié)構(gòu)的裝置、用于制造所述微結(jié)構(gòu)的方法和所述微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用

1105   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:10:02
本發(fā)明涉及一種三維的微結(jié)構(gòu),其具有:大量的彼此鄰近的、相對(duì)于其相應(yīng)的微柱縱向伸展部基本彼此平行地且彼此間隔地被安置的微柱,所述微柱具有至少一種微柱材料,所述微柱各自具有一在20至1000范圍內(nèi)的縱橫比,并各自具有一在0.1微米直至200微米范圍內(nèi)的微柱直徑;以及在毗鄰的微柱之間配設(shè)的微柱空隙,所述微柱空隙具有在所述毗鄰的微柱之間從1微米至100微米范圍中選出的微柱間距。本發(fā)明也提出一種用于建造所述的三維微結(jié)構(gòu)的方法,其具有如下方法步驟:a)用模板材料制備一模板,其中,所述模板具有一基本與所述微結(jié)構(gòu)相反的三維模板結(jié)構(gòu),所述三維模板結(jié)構(gòu)具有柱狀模板空腔,b)將所述微柱材料安置在所述柱狀模板空腔中,從而形成所述微柱,和c)至少部分地移去所述模板材料。有利地,將硅晶片用作模板。為了制備所述模板,以PAECE(PhotoAssistedElectro-ChemicalEtching光輔助電化學(xué)蝕刻)-方法為基礎(chǔ)。借助于本發(fā)明,具有極大表面的微結(jié)構(gòu)得以實(shí)現(xiàn)。
聲明:
“三維微結(jié)構(gòu)、具有至少兩個(gè)三維微結(jié)構(gòu)的裝置、用于制造所述微結(jié)構(gòu)的方法和所述微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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