本發(fā)明涉及一種柔性壓力傳感器及其制造方法,一種柔性壓力傳感器,包括絕緣外殼、微流道柔性導線層、壓力敏感層;所述微流道柔性導線層設置在絕緣外殼內(nèi),所述微流道柔性導線層的中心設有“回”型流道,所述“回”型流道內(nèi)填充液態(tài)金屬;所述壓力敏感層位于兩組微流道柔性導線層中間,與兩組“回”型柔性微流道柔性導線對應位置設有凹槽,凹槽內(nèi)填充柔性壓敏材料。本發(fā)明以3D打印方法一次性制作導電
復合材料傳感器及內(nèi)部微流道,將鎵基液態(tài)金屬注入微流道并封閉注射口后實現(xiàn)電路連接,得到耐彎折柔性壓力傳感器。
聲明:
“柔性壓力傳感器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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