一種超短脈沖激光誘導(dǎo)自組裝特性進(jìn)行大面積光柵制作方法,包括基板制備、多束脈沖激光并行處理方式和表面光柵結(jié)構(gòu)向石英玻璃襯底轉(zhuǎn)移。該方法在激光光斑輻照的直徑范圍內(nèi),會(huì)自發(fā)形成周期精度很高的光柵結(jié)構(gòu),且其光柵結(jié)構(gòu)可以無(wú)縫、整齊地隨著激光光斑的移動(dòng)掃描進(jìn)行大面積自發(fā)生長(zhǎng);該方法具有光柵的制作速度高、光柵面積大、高質(zhì)量和激光誘導(dǎo)自組裝的特點(diǎn)。
聲明:
“超短脈沖激光誘導(dǎo)自組裝特性進(jìn)行大面積光柵制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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