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基于鈦酸鋇與鐵酸鈷的雙層自支撐磁電復合薄膜制備方法

1039   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 16:53:48
本發(fā)明公開了一種基于鈦酸鋇與鐵酸鈷的雙層自支撐磁電復合薄膜制備方法，主要解決現(xiàn)有1-3結(jié)構(gòu)的復合材料不能同時減小襯底鉗制效應和漏電的問題。其實現(xiàn)步驟是：先在藍寶石襯底沉積一層氧化鎂薄膜，并在氧化鎂薄膜上依次沉積鐵酸鈷和鈦酸鋇薄膜，得到雙層磁電復合薄膜；再在其表面旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯，用硫酸銨溶液除去單晶氧化鎂薄膜，使附有聚甲基丙烯酸甲酯的磁電復合薄膜與藍寶石襯底脫離，并將脫離藍寶石襯底的磁電復合薄膜轉(zhuǎn)移到后續(xù)所需的襯底上，得到鐵酸鈷鈦酸鋇自支撐磁電復合薄膜。本發(fā)明得到的自支撐磁電復合薄膜相比現(xiàn)有的1-3結(jié)構(gòu)的復合材料，其不僅可以減小襯底鉗制，而且減小了漏電問題，可用于磁電傳感器的制備。
聲明：
“基于鈦酸鋇與鐵酸鈷的雙層自支撐磁電復合薄膜制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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