一種高可靠性的壓電半導(dǎo)體及其制備方法，所述壓電半導(dǎo)體包括壓電陶瓷、聚合物、叉指電極，所述壓電陶瓷先通過(guò)切割機(jī)切割成陣列結(jié)構(gòu)，然后通過(guò)聚合物對(duì)陣列結(jié)構(gòu)進(jìn)行填充并且同時(shí)將其置于呈鏡面對(duì)稱的2片叉指電極之間進(jìn)行封裝，得到壓電復(fù)合材料，所述壓電復(fù)合材料進(jìn)行極化處理后得到壓電半導(dǎo)體；所述壓電陶瓷為(0.994?x)(K0.4Na0.6)Nb0.965Sb0.04503?0.006BiFe03?xBi0.5Na0.5ZrO3陶瓷,其中，x=0.01?0.05；所述聚合物為Dp?460環(huán)氧AB膠、JH灌漿樹(shù)脂、Adbest 360l、電子灌封膠GF?5中的一種。本發(fā)明所述的高可靠性的壓電半導(dǎo)體及其制備方法，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，制備方法簡(jiǎn)單，厚度薄、重量輕、柔韌度高，由叉指電極、聚合物填充的壓電陶瓷、叉指電極組成的壓電半導(dǎo)體，具有更好的溫度穩(wěn)定性以及熱老化穩(wěn)定性和經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性，應(yīng)用前景廣泛。