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有機(jī)-金屬納米復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用

1095   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:50:09
本發(fā)明公開了一種有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用,屬于復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域。有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜由基底層和氟碳?鈦復(fù)合薄膜層組成。制備方法為:打磨聚四氟乙烯靶材和鈦靶材,清洗;然后進(jìn)行預(yù)濺射;利用共濺射在基底層表面沉積氟碳?鈦復(fù)合薄膜;然后進(jìn)行高溫退火,即可。本發(fā)明的有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜的制備方法,通過采用射頻?直流共濺射,改變薄膜沉積狀態(tài)的變化以調(diào)控納米級表面形貌、化學(xué)組分含量;通過調(diào)整高溫退火工藝以調(diào)控薄膜結(jié)晶度,使制得的復(fù)合薄膜表現(xiàn)出不同的浸潤性能和二次電子發(fā)射特性,且具有純度高、沉積面積大、物相結(jié)構(gòu)高度可控等優(yōu)點(diǎn),從而使其應(yīng)用廣泛,具有顯著的推廣實(shí)用價(jià)值。
聲明:
“有機(jī)-金屬納米復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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