測(cè)量范圍可調(diào)的各向異性磁電阻傳感器及其制備方法,包括基底、頂電極、磁性層、底電極和導(dǎo)電層;頂電極設(shè)置在基底的上表面,底電極設(shè)置在基底的下表面,磁性層和導(dǎo)電層均設(shè)置在頂電極的上表面,且導(dǎo)電層設(shè)置在磁性層的周圍。本發(fā)明利用磁電
復(fù)合材料中的磁各向異性場(chǎng)可受電場(chǎng)調(diào)控的原理,在壓電基底上制備AMR磁阻傳感器,通過(guò)外加電場(chǎng)控制磁阻效應(yīng)的大小和飽和磁場(chǎng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)磁阻傳感器的靈敏度和線性檢測(cè)范圍的調(diào)控,實(shí)現(xiàn)了使用電場(chǎng)對(duì)磁阻材料內(nèi)部磁化方向的調(diào)節(jié),與傳統(tǒng)的磁場(chǎng)調(diào)控、硬磁偏置等方法相比,電場(chǎng)調(diào)控具有效率高、體積小、能耗低、易于集成的特點(diǎn)。
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