一種應(yīng)用于紅色磷化鎵P型液相外延的石英舟,由內(nèi)腔、外腔、連接板、蓋板、連接操作桿及固定螺栓組成,內(nèi)外腔由石英制成,石英內(nèi)腔套在石英外腔內(nèi),內(nèi)外腔之間留有空隙。其中石英內(nèi)腔(2)中放置需生長P型層的磷化鎵基片,在石英內(nèi)腔的下面開有通槽,石英外腔(3)腔體內(nèi)可裝生長過程中所需的熔融
復(fù)合材料。石英內(nèi)腔(2)可在傳動裝置的帶動下在石英外腔(3)體內(nèi)上下運(yùn)動,石英外腔(3)中的熔融體通過石英內(nèi)腔(2)下面的通槽進(jìn)入或離開石英內(nèi)腔(2)中的磷化鎵基片,完成P型層的生長過程。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡單,適用性強(qiáng),無密封腔室,裝配的精度要求低,在操作時(shí)即使有一定的熔融殘留仍可使用,有效地減少了操作時(shí)的化學(xué)清洗次數(shù),防止對生長環(huán)境污染,提高產(chǎn)品品質(zhì)。
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“應(yīng)用于紅色磷化鎵P型液相外延的石英舟” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)