本實(shí)用新型公開(kāi)一種應(yīng)用于高溫化學(xué)氣相沉積爐上的絕緣密封結(jié)構(gòu),中頻感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是制備碳/碳
復(fù)合材料的常用設(shè)備。重要部位的絕緣和氣密性是設(shè)備運(yùn)行的前提,感應(yīng)線圈外部接口處的密封和絕緣是設(shè)備安全運(yùn)轉(zhuǎn)的關(guān)鍵。本實(shí)用新型通過(guò)采用環(huán)氧玻璃纖維絕緣連接件、環(huán)氧玻纖板等絕緣材質(zhì)交替使用來(lái)保證良好的絕緣性,通過(guò)長(zhǎng)短四氟管交替使用,中間還夾有耐高溫橡膠墊圈,相互之間用耐高溫硅酮密封膠來(lái)連接,最后用銅制螺母壓實(shí)壓緊來(lái)保證良好的密封性。
聲明:
“應(yīng)用于高溫化學(xué)氣相沉積爐上的絕緣密封結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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