本發(fā)明公開了一種
太陽能電池吸收層薄膜制造方法,它涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域。包括以下步驟:襯底的準(zhǔn)備,將銅、鋅、錫三種元素沉積于所述襯底表面,以形成銅鋅錫前驅(qū)體;將硫元素沉積于所述銅鋅錫前驅(qū)體表面,形成堆疊式銅鋅錫硫前驅(qū)體;將堆疊式銅鋅錫硫前驅(qū)體置于真空環(huán)境中,并通入由保護(hù)氣體和硫化氫氣體組成的混合氣體;將上述堆疊式銅鋅錫硫前驅(qū)體從室溫升溫至600?650℃,自然冷卻至室溫,得到銅鋅錫硫太陽能電池吸收層薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:將銅、鋅、錫三種元素沉積于襯底表面,以形成銅鋅錫前驅(qū)體,再將硫元素沉積于銅鋅錫前驅(qū)體表面,形成堆疊式銅鋅錫硫前驅(qū)體,制備工藝簡單,制造方便,且銅鋅錫硫薄膜太陽電池的轉(zhuǎn)換效率提高。
聲明:
“太陽能電池吸收層薄膜制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)