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減少管式PECVD插片劃傷的方法及采用該方法的鍍膜工藝

859   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:32:55
本發(fā)明涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種減少管式PECVD插片劃傷的方法及采用該方法的鍍膜工藝。一種減少管式PECVD插片劃傷的方法,該方法主要過程是將空舟放入PECVD爐管,在石墨舟上鍍一層氮氧化硅膜,具體包括以下步驟:第一步:空石墨舟進(jìn)入PECVD管;第二步:用氮氣對PECVD管吹掃,去除PECVD管內(nèi)的空氣;第三步:對PECVD管進(jìn)行抽真空;第四步:沉積氮氧化硅;第五步:用氮氣對PECVD管吹掃,去除PECVD管內(nèi)的SiH4/N2O氣體;第六步:退出石墨舟。采用在石墨舟表面鍍氮氧化硅膜為阻擋層的這種方式,降低石墨舟與硅片的直接接觸,減少插片時的劃傷,改善電池片的外觀。
聲明:
“減少管式PECVD插片劃傷的方法及采用該方法的鍍膜工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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