本發(fā)明公開(kāi)了一種硅基材料中硅含量和氧含量的測(cè)試方法及測(cè)試裝置,涉及材料、新能源領(lǐng)域。測(cè)試方法包括將硅基材料和反應(yīng)溶液先后放入密閉反應(yīng)器中,通過(guò)壓力傳感器監(jiān)測(cè)密閉反應(yīng)器中氣體的壓力變化,根據(jù)密閉反應(yīng)器內(nèi)腔的容積、溫度和氣體壓力變化,利用氣態(tài)方程得到氣體摩爾數(shù),進(jìn)而根據(jù)硅基材料和反應(yīng)溶液的化學(xué)反應(yīng)方程式得到反應(yīng)消耗的未氧化的硅含量,隨后根據(jù)硅基材料初始質(zhì)量得到完全氧化的硅含量,根據(jù)硅基材料的化學(xué)式得到其氧含量,進(jìn)而得到硅基材料的硅氧比例。本發(fā)明利用氣體壓力與硅基材料成分敏感的特性,實(shí)現(xiàn)了低成本、高精度的硅基材料中硅、氧含量測(cè)試。
聲明:
“硅基材料中硅含量和氧含量的測(cè)試方法及測(cè)試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)