本發(fā)明公開一種利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備
鋰電池C?Si負(fù)極涂層的方法,該方法是將負(fù)極基材安裝到極片架上;開啟連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件;投入待鍍膜基片架?銅箔;離子源等離子轟擊剝離銅箔表面氧化層、去除表面尖峰;直流濺鍍C?Si膜;加熱退火處理;出料后特性檢查;本發(fā)明通過磁控濺射真空鍍膜技術(shù)在鋰電池負(fù)極銅箔上沉積一層C?Si復(fù)合負(fù)極薄膜,以提高負(fù)極電極電性能。
聲明:
“利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)制備鋰電池C-Si負(fù)極涂層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)