一種鉭酸鋰、鈮酸鋰晶片電阻率測試裝置,包括第一透明板、第二透明板、第一柔性環(huán)形圈、第二柔性環(huán)形圈,第一柔性環(huán)形圈設(shè)置在第一透明板的內(nèi)側(cè)側(cè)壁上,第二柔性環(huán)形圈設(shè)置在第二透明板的內(nèi)側(cè)側(cè)壁上,還在第一透明板的內(nèi)部設(shè)置第一測試液注入通道和第一排氣通道,還在第二透明板的內(nèi)部設(shè)置第二測試液注入通道和第二排氣通道,本發(fā)明中通過將待測晶片進(jìn)入電解液的方式引出待測晶片的兩極,這種方式對測試后晶片無損傷、無影響,沖洗后仍然可以作為成品使用;通過第一柔性環(huán)形圈、第二柔性環(huán)形圈限定晶片的測試面積,對晶片表面無劃傷、無破壞;通過從電解液中插入電極的方式引出晶片的兩極,電阻無損耗,測試精度高。
聲明:
“鉭酸鋰、鈮酸鋰晶片電阻率測試裝置及測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)