本發(fā)明公開了一種二氧化硅波導(dǎo)與鈮酸鋰薄膜垂直耦合的諧振式集成光學(xué)陀螺,包括:基底晶片、下包層、二氧化硅波導(dǎo)環(huán)圈、二氧化硅直波導(dǎo)、上包層、鈮酸鋰薄膜、電光移頻器光學(xué)波導(dǎo)、電光移頻器金屬電極、鈮酸鋰直條光學(xué)波導(dǎo),可將鈮酸鋰薄膜光學(xué)波導(dǎo)中經(jīng)過(guò)電光移頻的光波沿垂直方向耦合導(dǎo)入二氧化硅波導(dǎo)環(huán)圈中進(jìn)行角速度測(cè)量,將二氧化硅波導(dǎo)環(huán)圈低傳輸損耗、低彎曲損耗的特點(diǎn)與鈮酸鋰晶體的電光移頻功能相結(jié)合,既克服了基于二氧化硅波導(dǎo)的集成光學(xué)陀螺難以制作集成光學(xué)移頻器的難題,也解決了基于鈮酸鋰波導(dǎo)的集成光學(xué)陀螺中波導(dǎo)環(huán)圈彎曲損耗過(guò)大、環(huán)圈半徑過(guò)大的問(wèn)題,提升了諧振式集成光學(xué)陀螺的集成度和實(shí)用化價(jià)值,適于實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。
聲明:
“二氧化硅波導(dǎo)與鈮酸鋰薄膜垂直耦合的諧振式集成光學(xué)陀螺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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