本實用新型公開了一種基于鈮酸鋰的空氣隙型剪切波諧振器。該諧振器包括硅襯底、氧化硅保護(hù)層、硅腔、鈮酸鋰壓電材料及頂部電極;硅襯底的上表面向內(nèi)凹陷形成凹槽,氧化硅保護(hù)層沉積在凹槽的側(cè)壁和底面;所述硅襯底與鈮酸鋰壓電材料連接,所述鈮酸鋰壓電材料覆蓋在凹槽的上方,形成硅腔;所述鈮酸鋰壓電材料上設(shè)有通孔,使硅腔與外界相通??諝庀缎图羟胁ㄖC振器的壓電材料由離子注入和鍵合工藝制備,壓電材料下方的空氣腔通過犧牲層釋放的方法獲得。與背硅刻蝕型的剪切波諧振器相比,該方法制備的剪切波諧振器機(jī)械強(qiáng)度高,步驟簡單,提高了諧振器器件的良率,由于鈮酸鋰機(jī)電耦合系數(shù)高。該方法能應(yīng)用于高頻寬帶、低損耗濾波器的制造。
聲明:
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