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多層介質(zhì)-金屬-介質(zhì)波導(dǎo)溫濕度表面等離子共振傳感裝置

692   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:21:56
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多層介質(zhì)?金屬?介質(zhì)波導(dǎo)溫濕度表面等離子共振傳感裝置,其特征是,包括順序疊接的底層二氧化硅層、第一金層、玻璃層、第二金層和頂層鈮酸鋰層,入射光由玻璃層側(cè)面以大于表面等離子產(chǎn)生共振的角度入射,所述的玻璃層與二氧化硅層、第一金層構(gòu)成二氧化硅?金?玻璃的介質(zhì)?金屬?介質(zhì)波導(dǎo)的表面等離子共振結(jié)構(gòu);玻璃層與第二金層、鈮酸鋰層構(gòu)成玻璃?金?鈮酸鋰的介質(zhì)?金屬?介質(zhì)波導(dǎo)的表面等離子共振結(jié)構(gòu)。這種裝置能夠?qū)崿F(xiàn)單一芯片的溫度和濕度的多功能檢測(cè),不僅可以改善傳統(tǒng)傳感器的精度低、穩(wěn)定性差、反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)的不足,還能利用光學(xué)傳感器的特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)如遠(yuǎn)距離傳輸傳感、復(fù)雜溫度環(huán)境特殊條件下的應(yīng)用。
聲明:
“多層介質(zhì)-金屬-介質(zhì)波導(dǎo)溫濕度表面等離子共振傳感裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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