本發(fā)明公開了一種改進(jìn)型壓差法在硅微通道內(nèi)壁上液流沉積薄膜的方法和裝置,它包括容器;所述的容器由隔板將腔體分隔成兩個(gè)腔體:第一腔體和第二腔體;第一腔體和第二腔體之間的隔板上設(shè)置有連通兩個(gè)腔體的卡槽;所述的卡槽上放置有硅微通道;在第一腔體和第二腔體之間設(shè)置有循環(huán)泵,其中,循環(huán)泵的進(jìn)水口設(shè)置于第二腔體的底部,出水口設(shè)置于第一腔體的上方;所述的第一腔體內(nèi)注有進(jìn)行液流沉積的鍍液。本發(fā)明的有益效果在于:明顯的改善了用傳統(tǒng)沉積方法與傳統(tǒng)的壓差沉積法進(jìn)行薄膜沉積時(shí),硅微通道內(nèi)壁上出現(xiàn)的薄膜沉積不均勻的現(xiàn)象,用此改進(jìn)型壓差液流沉積法進(jìn)行薄膜沉積的硅微通道作為鋰離子電池的電極,可提高鋰離子電池的整體性能。
聲明:
“改進(jìn)型壓差法在硅微通道內(nèi)壁上液流沉積薄膜的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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