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精三氯氫硅的生產(chǎn)方法

877   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:26:54
本發(fā)明涉及一種精三氯氫硅的生產(chǎn)方法,包括(1)在工業(yè)級(jí)三氯氫硅精餾工段增加預(yù)塔裝置;(2)在預(yù)塔前增加加熱器對(duì)加料進(jìn)行預(yù)熱;(3)預(yù)塔、三氯氫硅塔、四氯化硅塔內(nèi)部采用填料和塔板復(fù)合的形式;(4)四氯化硅可來自四氯化硅塔下部的氣相側(cè)采;(5)三氯氫硅塔和四氯化硅塔可集成為一個(gè)塔或者采用雙效精餾方法;(6)在冷卻工段中除塵器之后冷凝器前增加洗滌塔裝置;(7)對(duì)于洗滌塔采用底溫余熱驅(qū)動(dòng)溴化鋰機(jī)組產(chǎn)生冷水供冷卻使用;(8)對(duì)合成熱進(jìn)行熱集成和節(jié)能利用;(9)在三氯氫硅進(jìn)行超純精餾和精制過程中采用3~8個(gè)精餾塔和吸附塔或者絡(luò)合精餾塔裝置。本發(fā)明有投資低、能耗低且目標(biāo)產(chǎn)物三氯氫硅的分離純度高等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“精三氯氫硅的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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