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高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用

996   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:27:25
本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,公開了高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用,包括以下步驟:對氧化亞氮原料氣進行壓縮后,依次經(jīng)活化后的13X?APG分子篩、4A分子篩、改性分子篩吸附除雜,獲得高純氧化亞氮;所述改性分子篩為負載有金屬氧化物的分子篩,所述金屬氧化物為氧化鈉、氧化鉀和氧化鋰中的一種或多種;硅片經(jīng)預處理后,依次沉積SiOx膜和SixNy膜,制成太陽能電池硅片。本發(fā)明在氧化亞氮的純化過程中,通過在吸附除雜前對氧化亞氮原料氣進行壓縮,并依次采用三種分子篩對原料氣進行吸附除雜,將物理吸附與化學吸附相結(jié)合,能提高氧化亞氮的純度,用其對硅片進行PECVD鍍膜,能獲得性能更好的太陽能電池硅片。
聲明:
“高純氧化亞氮在制備太陽能電池片中的應用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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