本實(shí)用新型公開(kāi)了一種模塊化設(shè)計(jì)的自供紫外光源的拋光頭裝置,包括自供紫外光源模塊、裝卡模塊和晶圓保持模塊,其中自供紫外光源模塊包括光源電路、中間圓盤(pán)、防護(hù)罩、環(huán)形石英玻璃板、密封蓋和O型密封墊圈,該模塊中的光源電路包括環(huán)形電路板、
鋰電池組和紅外遙控開(kāi)關(guān);裝卡模塊包括上圓盤(pán)、裝卡圓柱和彈簧鋼片;晶圓保持模塊包括底圓盤(pán)和保持環(huán)。本裝置采用模塊化的設(shè)計(jì),方便了單個(gè)模塊互換以及模塊間裝配;本裝置將紫外光源裝置與拋光頭裝置高度集成,提高了紫外光能利用率并節(jié)約了大量紫外光能;本裝置中的機(jī)械結(jié)構(gòu)采用
鋁合金,減少了拋光頭裝置質(zhì)量,降低了電機(jī)損耗。本實(shí)用新型的高集成和輕質(zhì)量特性有效實(shí)現(xiàn)了綠色節(jié)能。
聲明:
“模塊化設(shè)計(jì)的自供紫外光源的拋光頭裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)