本發(fā)明是關(guān)于一種水中微粒的去除裝置及方法。該裝置包含:一快混槽、一慢混槽及一沉淀或薄膜槽;其特征在于:所述沉淀或薄膜槽中包含一沉淀區(qū),用于使所述慢混槽出流水中的膠羽沉淀;及一薄膜過濾區(qū),用以過濾經(jīng)所述沉淀區(qū)沉淀后的水。所述沉淀區(qū)及薄膜過濾區(qū)是由隔板區(qū)隔且兩區(qū)域具有開口可相互連通,其中所述薄膜過濾區(qū)是設(shè)置于相對于沉淀或薄膜槽底一偏高處。本發(fā)明的處理裝置較佳是用于處理例如化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)廢水或中、高濁度的原水。
聲明:
“水中微粒去除裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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