本發(fā)明公開了一種利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法,是以固體激光器為激光光源,使用周長為3~1000微米,且兩個最遠角距離或最長直徑不超過400微米的小光斑進行逐點逐行激光掃描,其中小光斑內(nèi)部的能量分布情況是:光斑中心能量最強,向四周能量逐漸變?nèi)酢1景l(fā)明實現(xiàn)了小光斑無損激光剝離,改進了激光剝離掃描方式,從而實現(xiàn)了無需對版的盲打剝離方法,簡化了激光剝離工藝過程,提高了效率,降低了廢品率,為激光剝離工藝產(chǎn)業(yè)化掃清了障礙。
聲明:
“利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)