本發(fā)明涉及一種從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法,包括以下步驟:將晶硅切割廢料與有機溶劑、耐高溫熱塑性樹脂混勻,過濾后得到固體廢料;其中,晶硅切割廢料中包括硅、氧化鋯、鐵、聚乙二醇和水;將固體廢料烘干、燒結后研磨,得到粒徑為1?2μm的原料粉體;其中,原料粉體中包括硅、氧化鋯和鐵;將原料粉體與植物纖維在惰性氣體中進行放電等離子燒結,惰性氣體的壓強為100?800Pa,在1100?1600℃下反應10?40min,得到碳化硅和氧化鋯復合晶須。本發(fā)明的方法料取自工業(yè)廢料,其回收利用可以降低環(huán)境污染,在制備高強度碳化硅和氧化鋯復合晶須的同時可以獲得氧化鋯磨料,該方法工藝簡單、制備效率高、成本較低。
聲明:
“從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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