本發(fā)明的研磨廢漿中碳化硅的回收方法,包括以下步驟:(1)加入水將研磨廢漿稀釋;(2)分離研磨廢槳中的固體及液體,該固體包括硅粉顆粒及碳化硅顆粒;(3)移除硅粉顆粒和液體,保留碳化硅顆粒;(4)將該碳化硅顆粒加入至堿性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除殘留的堿性溶液得到純化后的碳化硅。本發(fā)明可有效回收研磨廢漿中的碳化硅,從而將其循環(huán)利用,防止環(huán)境污染。
聲明:
“研磨廢漿中碳化硅的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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