本實(shí)用新型公開了一種能夠避免尾排管爆炸的用于制備硅片表面
氧化鋁膜的裝置。該裝置包括設(shè)置有爐門的真空沉積室,真空沉積室內(nèi)設(shè)有石墨舟,真空沉積室上設(shè)有進(jìn)氣口與排氣口,進(jìn)氣口上連接有用于通入制程氣體的導(dǎo)氣管,排氣口上連接有
真空泵,真空泵的出口連接有尾排管,通過尾排管上設(shè)置尾氣處理裝置,真空沉積室內(nèi)反應(yīng)完畢的廢氣在真空泵的作用下,尾氣先經(jīng)過氣爆室與空氣發(fā)生反應(yīng),再經(jīng)過水爆室內(nèi)與水發(fā)生反應(yīng),尾氣再進(jìn)入甲烷燃燒時將生成的甲烷燃燒殆盡后再進(jìn)入尾排管,進(jìn)入尾排管的尾氣由于不含有三甲基鋁也就不會發(fā)生爆炸,避免了尾排管經(jīng)常發(fā)生爆炸的危險情況發(fā)生,其安全性大大提高。適合在
太陽能電池硅片加工設(shè)備領(lǐng)域推廣應(yīng)用。
聲明:
“用于制備硅片表面氧化鋁膜的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)