本實用新型公開了一種有機(jī)物化學(xué)分析采氣混和盤面,屬于半導(dǎo)體與面板制造技術(shù)領(lǐng)域,包括底座,所述底座的頂部設(shè)有多組流量控制器,且多組所述流量控制器的底部均通過安裝組件固定安裝于底座的頂部,所述底座的頂部且位于流量控制器的兩側(cè)分別設(shè)有進(jìn)氣氣控閥和排氣氣控閥;本實用新型通過緊湊集成SEMI標(biāo)準(zhǔn)化的氣控閥、流量控制器等部件,構(gòu)建氣體供氣線,根據(jù)需要的流程進(jìn)行最佳布局實現(xiàn)可高速置換標(biāo)準(zhǔn)氣體、惰性氣體、樣品氣體的理想流路,在實現(xiàn)化學(xué)氣體不同濃度的配置與采集分析樣品的稀釋濃度調(diào)整的同時大幅縮小組件的體積,方便于維護(hù)與保養(yǎng),與以往使用的系統(tǒng)相比更加集成化大幅節(jié)省了空間。
聲明:
“有機(jī)物化學(xué)分析采氣混和盤面” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)