本發(fā)明公開一種化學(xué)機械拋光檢測裝置及其檢測方法,涉及化學(xué)機械拋光技術(shù)領(lǐng)域,包括對透明的工件進(jìn)行夾持的工件夾持部、用于帶動拋光墊轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部及其用于對拋光墊的表面形貌進(jìn)行圖像采集的圖像采集部,工件加持部上設(shè)置有壓力傳感器,壓力傳感器用于測量工件在拋光壓力作用下由于法向位移而產(chǎn)生的法向壓力;本發(fā)明利用圖像采集裝置實時捕捉拋光界面間拋光墊的表面形貌,結(jié)合對拋光界面受力情況的監(jiān)測,能夠分析得到拋光墊表面摩擦系數(shù)變化情況,及其摩擦系數(shù)變化與研磨顆粒分布變化、磨損變化等參數(shù)之間的關(guān)系,解決了無法將拋光界面磨粒分布、拋光墊形貌與界面摩擦特性進(jìn)行關(guān)聯(lián)的技術(shù)問題。
聲明:
“化學(xué)機械拋光檢測裝置及其檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)