本發(fā)明提供一種納米流體設(shè)備,其具備第一基板和第二基板,所述第一基板在一個面上具有納米尺度的槽,所述第二基板是對第二基板與該第一基板彼此相對的一個面之間進(jìn)行接合而一體化設(shè)置,并且與前述第一基板的槽共同形成納米流路,其中,前述第一基板或前述第二基板中的任一者,在俯視時與前述納米流路重疊的位置的一部分中至少具有薄壁部,前述薄壁部通過按壓而產(chǎn)生變形,由此來打開/關(guān)閉前述納米流路。
聲明:
“納米流體設(shè)備以及化學(xué)分析裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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