一種沉積溫度的檢測方法,適用于檢測化學(xué)氣相沉積機臺的反應(yīng)室的沉積溫度,包括:于反應(yīng)室中置入待沉積物;于待沉積物上形成金屬硅化物層;測量金屬硅化物層的硅/金屬原子比;以及將硅/金屬原子比代入硅/金屬原子比對溫度的關(guān)系式以求得沉積溫度。通過上述方法可實時檢測并監(jiān)控機臺的沉積溫度。
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